Hệ thống Probe Station tiên tiến tích hợp Positioners độ chính xác cao từ FormFactor và công nghệ khử tĩnh điện chuyên dụng EHI. Tối ưu hóa quy trình kiểm thử trên toàn bộ Wafer 6", 8" và 12"+++.
| Đặc tính kỹ thuật | Giá trị tiêu chuẩn |
|---|---|
| Kích thước Wafer hỗ trợ | 150mm (6"), 200mm (8"), 300mm (12"+++) |
| Độ phân giải Positioner | Sub-micron (X-Y-Z) |
| Dải tần số RF | DC đến 67GHz / 110GHz / THz |
| Hạng mục ESD | Mô tả chi tiết |
|---|---|
| Khử tĩnh điện | Module Ionizer tích hợp, cân bằng ion +/- 5V |
| Vật liệu bề mặt | Dissipative (10^6 - 10^9 Ω) chống tích tụ điện tích |
| Bảo vệ Chip | ESD Protection Circuitry tích hợp trên đường tín hiệu DC |
| Tiêu chuẩn phòng sạch | Đáp ứng ISO Class 3 (Class 1) cho dây chuyền bán dẫn |
Tải hướng dẫn lựa chọn kim đo RF/DC và bộ định vị Positioner phù hợp cho ứng dụng của bạn.
Kỹ sư của chúng tôi sẽ hỗ trợ bạn lựa chọn Positioner và giải pháp ESD phù hợp nhất.
